반도체 산업을 위한 에너지 체인, 케이블 및 베어링 기술

반도체 제조업체는 높은 생산성을 달성하기 위해 노력하고 있습니다. 이에 따라 이구스의 솔루션으로 개선할 수 있는 설비종합효율(OEE)이 중요합니다. 이구스의 클린룸 애플리케이션용 에너지 공급 및 케이블은 마모에 강하고 가스 배출이 적은 고성능 플라스틱으로 제작되어 높은 생산 품질을 지원합니다. 컴팩트하고 유지보수가 적으며 조립이 간편하고 비용 효율적입니다. 또한 모듈형으로 설계되어 시스템 운영자가 언제든지 확장할 수 있습니다. 전 세계 반도체 산업에서 OEE를 향상시키는 이 제품은 레이저 마킹, EUV 리소그래피 및 자동 광학 검사(AOI) 등의 기계 및 시스템에 사용됩니다.

반도체 산업을 위한 엄선된 제품

플랫 케이블 가이드 시스템 e-skin® flat 및 CFCLEAN 연선 구조

IPA ISO 클래스 1에 따라 클린룸 호환 가능
► 모듈형 컴팩트 디자인
몇 분 안에 케이블 교체 가능
높은 신뢰성을 위해 조정된 CFCLEAN 연선 구조 적용
재고 있음
최소 주문 수량 없음

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무료 플랫 케이블 시스템 e-skin® flat 주문하기

깔끔한 플랫 케이블 시스템 e-skin® flat에 관심이 있지만 최종 결정을 내리고 최상의 인상을 얻기 위해 직접 손으로 만져보고 싶으신가요?
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두 부분으로 구성된 주름형 튜브

IPA ISO 1등급에 따라 클린룸 호환 가능
상부 및 하부 셸로 구성된 두 개의 부품
"zip" 기능으로 빠른 조립
빠르고 짧은 비지지(unsupported) 애플리케이션용

e-skin 주름형 튜브

높은 역동성을 위한 에너지 체인

IPA ISO 클래스 1에 따라 클린룸 호환 가능
측정 가능한 마모 없이 최적화된 설계
특히 조용한 작동
정전기 방지를 위한 ESD 소재의 측면 부품

에너지체인 C6

클린룸 내 케이블

내마모성이 뛰어난 재킷 소재 사용
반경 70mm에서 2천만 스트로크의 사용 수명 보장
CFCLEAN과 e-skin® flat의 조합은

클린룸 클래스 1에 따라 인증됨

클린룸 케이블

무급유 직동 가이드

윤활 또는 유지보수 불필요
ISO 클래스 6 ~ 3에 따라 클린룸에서 사용하도록 인증됨
특히 조용한 작동

drylin 직동 가이드

입자 배출을 최소화하는 스윙 링 베어링

무급유 작동을 위해 바로 설치할 수 있는 선회 링 베어링
입자 배출이 적은 유지보수가 필요 없는 슬라이딩 요소
경량 아노다이징 알루미늄 소재의 링

PRT-04 회전 링 베어링

무급유 및 유지보수가 필요 없는 볼 베어링

저마찰 무급유 작동을 위해 고성능 플라스틱으로 제작된 볼 베어링
기존 스테인리스 스틸 볼 베어링보다 약 50% 더 비용 효율적이고 가벼움

xiros 볼 베어링

백서

클린룸을 위한 에너지 공급 시스템

이 백서에서는 클린룸에서 올바른 에너지 공급을 사용하여 다음과 같은 이점을 얻을 수 있는 방법을 알아봅니다.

플랜트 효율성 향상
더 높은 생산 라인 수율 생성
에너지 공급 시스템을 보다 지속 가능하게 사용

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고객 적용 사례

인쇄 회로 기판 테스트에서 분산성 ESD 에너지 체인 및 무급유 베어링 사용

예를 들어 플라잉 프로브 테스터는 인쇄 회로 기판의 결함 없는 기능을 검사하는 데 사용됩니다. 바늘이 최대 15g의 가속도로 회로 기판과 같은 전자 부품에 닿아 측정합니다. 테스트 헤드에 에너지와 데이터를 안정적으로 공급하기 위해 SPEA의 플라잉 프로브 테스터에는 소산성 ESD 에너지 체인이 사용됩니다. 또한 drylin® 직동 베어링은 전자 부품의 오염 위험 없이 완전히 무급유 및 유지보수 없이 포맷을 조정할 수 있습니다.

이 적용 사례에 대한 추가 정보

고정밀 조정을 위한 에어 베어링이 장착된 직동 시스템

이구스의 PVC & TPE 케이블과 함께 4중 레이어로 구성된 e-skin® flat SKF12.4.03.01.1은 에어 베어링이 장착된 직동 시스템의 안정적인 에너지 공급을 보장합니다.

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연간 3,100만 회 이상 작동하는 볼륨 패턴 생성기(VPG)의 케이블 가이드

이러한 볼륨 패턴 생성기(VPG) 시스템의 에너지 공급은 연속 작동에도 불구하고 클린룸에서 절대적으로 원활하게 작동해야 합니다. 여기에는 e-skin® flat이 사용됩니다.

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반도체 자동화 시스템

E6 및 E14 시리즈 에너지 체인은 Fixload 반도체 자동화 시스템 생산에 사용됩니다. 300mm 웨이퍼 공정 장치용 로딩 인터페이스의 민감한 애플리케이션 영역에는 깨끗한 공기가 필요합니다. 이 에너지 체인은 내마모성이 뛰어나고 IPA ISO 클래스 2 및 3 클린룸에 적합한 요구 사항을 충족합니다.