사용자 보고서클린룸용 케이블, 연간 3,100만 사이클 이상 사용

• 필요한 것 리본 케이블 e-스킨® 플랫
• 요구 사항: 높은 정밀도, 짧은 사이클 시간 및 연속 작동 시 신뢰성
• 산업 분야 반도체 생산
• 고객의 성공: 이 애플리케이션은 약 1초의 사이클 타임으로 연간 3,100만 회 이상의 사이클을 수행하며 1년 동안 그 성능이 입증되었습니다.

하이델베르그 인스트루먼트의 볼륨 패턴 생성기" 시스템(줄여서 VPG)은 주로 산업 대량 생산에 사용됩니다. UV 레이저를 사용하여 높은 정밀도와 속도로 포토마스크를 생성하여 마이크로칩, 센서, LED 및 MEMS(미세 전자 기계 시스템) 생산을 위한 템플릿 역할을 합니다. VPG 시스템의 다른 응용 분야로는 웨이퍼에 마이크로 구조를 직접 기록하는 것이 있습니다.

매우 높은 정밀도, 연중무휴 24시간 작동, 초당 매우 짧은 사이클 타임은 시스템에서 드라이브의 요구 사항 중 일부입니다. 마이클 카펠, 전기 설계 책임자: "그렇기 때문에 당사는 에어 베어링 XY 테이블을 비롯한 많은 핵심 부품을 자체 개발합니다." 노광 공정은 클린룸 조건에서 이루어지기 때문에 드라이브 구성 요소도 그에 맞게 선택해야 합니다. 이는 특히 XY 테이블에 대한 에너지, 신호 및 미디어 공급 라인에 적용됩니다. 아주 작은 먼지 입자라도 노광 품질에 영향을 미치기 때문입니다. 또 다른 요구 사항도 그에 못지않게 중요합니다. 카펠: "에너지 공급 과정에서 아주 작은 교란도 노출의 정밀도를 떨어뜨리기 때문에 피해야 합니다."

이 개발 프로젝트에서 이구스(® )는 기존에 사용되던 체인을 사용하지 않는 새로운 케이블 캐리어 개념의 e-skin® 플랫을 선보였습니다. 대신 케이블과 호스는 필요에 따라 개별적으로 열고 닫을 수 있는 평평한 프로파일, 즉 포드로 안내됩니다. 이 컴팩트한 시스템 덕분에 굽힘 반경이 매우 작고, 서로 닿는 체인 링크가 없기 때문에 이동 중 마모와 마모에 강합니다. 이는 프라운호퍼 IPA의 테스트에서 확인된 바와 같이 클린룸에서 여러 층으로 구성된 경우에도 사용할 수 있음을 의미합니다. 하이델베르크의 설계 엔지니어들은 새로운 에너지 공급장치로 내구성 테스트를 위한 데모기를 제작했으며, 현재 igus® 테스트 실험실에서 1억 2천만 사이클을 ISO 1로 완료했습니다. 케이블은 사용자가 완전히 만족할 정도로 테스트를 통과했습니다. igus® 는 고정 요소에 대한 최종 조정을 수행했으며, "소형" VPG 및 ULTRA 시스템을 위한 새로운 에너지 공급 시스템이 완성되었습니다.

이 솔루션은 현재 약 1년간 사용되어 왔으며, 사이클 타임이 약 1초인 매우 동적인 애플리케이션에서도 연간 3,100만 회 이상 작동하는 등 실제로 그 성능이 입증되었습니다. 하이델베르그 인스트루먼트는 내마모성 TPE 재킷이 있는 고품질 igus® chainflex® 케이블을 사용합니다.