e-spin 가이드 시스템이 적용된 C6 클린룸 에너지 체인

최대 30m의 이동을 위한 혁신적인 클린룸 솔루션

특수 가이드 시스템이 적용된 새로운 C6 클린룸 에너지 체인은 클린룸 생산 환경의 장거리 이동 구간에서도 에너지 및 데이터 가이드를 위한 컴팩트하고 긴 사용 수명의 에너지 체인 장점을 제공합니다.

최대 30m 이동 거리를 지원하는 새로운 클린룸 솔루션의 주요 장점:

Fraunhofer IPA ISO 인증 획득 및 뛰어난 내마모성
장거리 구간에서도 높은 신뢰성
모듈형 및 저유지보수 설계 — 고도로 자동화된 클린룸 환경에 적합

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기술력 증가

특수 가이드 구조를 적용한 혁신적인 클린룸 솔루션으로, 장거리 이동 환경에서도 분진 발생을 최소화합니다.

비용 절감

장거리 이송 환경에서도 추가적인 분진 발생 없이 전력 및 데이터 공급을 하나의 시스템으로 안전하게 구현

확인/검증

Fraunhofer IPA 인증 완료 — ISO Class 1~4 대응, 최대 8m 완성형 시스템

안정성

분진 감소를 통한 생산 수율 향상 및 자원 절감

클린룸의 자동화된 웨이퍼 이송

최신 반도체 공장에서는 실리콘 웨이퍼가 리소그래피 및 식각부터 도핑과 금속화까지 다양한 공정을 거칩니다. 이러한 공정은 서로 멀리 떨어진 다양한 생산 구역에서 이루어지는 경우가 많습니다. 청정도 및 내분진성 요구사항이 매우 엄격하기 때문에 클린룸 내 수동 운송은 현실적으로 어렵습니다. 대신 자동 물류 이송 시스템(AMHS)이 FOUP(Front-Opening Unified Pod) 웨이퍼 카세트를 장거리에서 안전하고 효율적으로 운반합니다. 검증된 솔루션 중 하나는 OHT(Overhead Hoist Transport)입니다. 이는 FOUP를 상부에서 운반하며 클린룸 공간 활용을 극대화하는 레일 기반 운송 시스템입니다.

운송뿐 아니라 스토커(stocker)라 불리는 저장 시스템도 매우 중요한 역할을 합니다. 이러한 시스템은 에너지 및 데이터 공급에 높은 요구사항을 가집니다. OHT 장치 전원 공급용 안정적인 에너지 공급 시스템, 데이터 전송(Ethernet, 센서 기술 등), 좁고 동적인 클린룸 환경에서도 안정적인 케이블 가이드 시스템

클린룸 어플리케이션을 위한 C6 에너지체인

클린룸에 가장 적합, 내마모성 및 고강성

클린룸에 적용되는 에너지체인에 있어 내마모성은 가장 중요한 요소중 하나입니다. 클린룸에는 C6 에너지체인이 표준으로 사용되며, 최고의 저마모 성능을 자랑합니다. 최상의 솔루션: 새로운 C6 클린 룸 에너지체인을 사용하면 높은 부하를 받는 경우에도 마모가 일어나지 않습니다. 또한 저소음과 설치가 간편하다는 장점이 있습니다.

[NEU] 내부 높이 22mm 버전 추가 제공 외부 반경에는 모든 링크에 크로스바가 적용되었으며, 기본 사양으로 크로스바 및 iglidur® J 내부 분리 구조가 적용되어 모든 케이블 외피 및 호스 소재에 최적의 슬라이딩 표면을 제공합니다. 또한 측면 링크는 마모를 최소화한 트라이보 최적화 ESD 소재를 기본 적용했습니다. 새로운 조립 툴을 통해 체인을 더욱 빠르고 쉽게 개방할 수 있습니다.

주요 적용 분야: 전자 제조, 반도체 산업, FPD 생산, 마이크로전자, 패널 로봇, 패키징, 플로터, 의료 기술

에너지 체인 시리즈 C6