장거리 이동 클린룸에 적합

최신 반도체 공장에서 실리콘 웨이퍼는 리소그래피와 에칭부터 도핑과 금속화에 이르기까지 수많은 공정 단계를 거칩니다. 이러한 공정은 서로 멀리 떨어져 있는 여러 공장에서 이루어집니다. 청결과 입자가 없어야 한다는 엄격한 요건 때문에 클린룸 내에서 수작업으로 운반하는 것은 불가능합니다. 검증된 솔루션은 오버헤드 호이스트 운송(OHT)으로, FOUP를 머리 위로 이동하고 클린룸 공간을 최적으로 활용할 수 있는 레일 가이드 운송 시스템입니다. 운송 외에도 소위 스토커에 보관하는 것도 매우 중요합니다. 이러한 시스템은 에너지 공급에 대한 요구가 높습니다. OHT 장치에 전원을 공급하고 데이터를 전송하는 케이블은 역동적이고 종종 비좁은 클린룸 환경에서 안정적으로 안내되어야 하는데, igus는 이를 위한 혁신적인 솔루션을 제공합니다.

• 내마모성 및 프라운호퍼 IPA의 ISO 인증 획득
• 장거리 이동 시에도 신뢰성 보장
• 모듈형으로 유지보수가 필요 없음 - 고도로 자동화된 클린룸 환경에서 사용하기에 이상적임

내마모성은 클린룸의 에너지 체인 애플리케이션에 있어 결정적인 파라미터입니다. C6 에너지 체인 시리즈는 여기에 대한 표준을 제시합니다. 마모는 거의 측정할 수 없습니다. 새로운 C6 클린룸 에너지 체인에서는 높은 하중에서도 마모를 측정할 수 없습니다. 다른 장점으로는 매우 조용한 작동과 쉬운 조립이 있습니다.

기술력 향상:

• 측정 가능한 마모 없이 최적화된 설계
• ISO 클린룸 클래스 1 애플리케이션용
• 견고한 스톱-독 시스템으로 높은 안정성 제공
• 사출 성형된 댐핑 요소로 인한 부드러운 작동
• ESD 소재로 제작된 측면 패널로 정전기 방지